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[期刊论文] 作者：李盛楠,王健,赵华强,曹正宗,,
来源：计量与测试技术 年份：2017
MEMS压力传感器由于体积小使得工艺实现存在一定难度,样品的测试分析十分重要。本文对研制的三批样品进行测试分析,判断失效样品的制造原因,通过改进工艺,制备出符合要求样品...
[期刊论文] 作者：王健,赵华强,李盛楠,曹正宗,,
来源：电子世界 年份：2016
MEMS压力传感器具有体积小、灵敏度等优点,发展前景广阔。本文采用工艺模拟软件结合文献设计一种MEMS压力传感器制备方法,制备出符合要求的芯片,明确了仿真设计在MEMS压力传...
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