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[学位论文] 作者:曹祥威,,
来源:南京航空航天大学 年份:2018
随着纳米技术的飞速发展,硅作为重要的半导体材料其在纳米化后表现出的特殊物理化学性能引起了众多领域的关注。目前,纳米硅颗粒已经被应用于微电子、涂料、生物医疗、新能源...
[期刊论文] 作者:鲍官培,汪炜,曹祥威,,
来源:电加工与模具 年份:2016
基于金刚石线锯切割系统,开展了金刚线电解磨削切割多晶硅片试验。结果表明:电解磨削复合加工方法在机械磨削的同时复合了阳极氧化和腐蚀,在硅片表面产生了机械损伤缺陷和电化......
[期刊论文] 作者:曹祥威,赵明才,张林,汪炜,陈秭昕,
来源:电加工与模具 年份:2018
采用火花放电法制备出粒径均匀分布在30~50 nm的纳米硅颗粒,产量为1 g/h。针对其低产率,在火花放电的基础上组合高能球磨法,成功制备出中径(D50)为80 nm的纳米硅颗粒,产量可达1...
[期刊论文] 作者:赵明才,曹祥威,孙洪凯,朱文魁,汪炜,,
来源:电加工与模具 年份:2017
提出一种高质高效、自上而下的纳米硅制备方法,从半导体复合加工方法入手,以重掺杂晶体硅为原料,采用火花放电法高效预制备微米/亚微米硅材料,其平均粒径(D50)约1.45μm,进而通...
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