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[期刊论文] 作者:朝容春, 来源:工具技术 年份:1985
1、绪言所谓直流等离子CVD法,就是把反应气体TiCl_4、CH_4和N_2引入到由气体辉光放电产生的非平衡等离子体内,以提高反应离子的势能,大幅度降低CVD法的沉积温度,制取TiC、Ti...
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