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[会议论文] 作者：朱振宇[1]王霁[1]牛立新[2]严家骅[2],
来源：2010国防计量与测试学术交流会 年份：2010
本文介绍了一种利用相位偏移干涉技术来测量微小角度的方法，建立了一种二维微小角度的测量系统，验证了该系统测量角度的分辨力优于0.01"。同时对PI的二维柔性纳米工作台运作过......
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