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[学位论文] 作者:朱跃长, 来源:沈阳大学 年份:2018
[期刊论文] 作者:贺春林,朱跃长,张金林,马国峰,王建明,, 来源:沈阳大学学报(自然科学版) 年份:2014
磁控溅射TiN薄膜的力学和腐蚀性能与薄膜的结构密切相关,而其结构又取决于薄膜的制备工艺.采用正交实验方法对影响TiN薄膜结构和性能的重要参数如电流、负偏压、氮流量和基体...
[期刊论文] 作者:贺春林,王苓飞,高建君,朱跃长,解磊鹏,李蕊,马国峰,王建明,, 来源:沈阳大学学报(自然科学版) 年份:2015
以高纯Ti和Si为靶材,在不同偏压下于Ar/N2气氛中溅射沉积了Ti-Si-N纳米复合膜,采用原子力显微镜、X射线衍射(XRD)和划痕法研究了复合膜的结构、界面结合力和摩擦系数与偏压的关...
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