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[学位论文] 作者:李健根, 来源: 年份:2010
零件的应力状况既是与加工过程、制造方法有关,也是其过去和现在工作状态的综合结果,是反映机械结构安全性、可靠性的关键,也是影响精密机械系统精度指标的重要因素,是分析、设计和优化零件结构的依据。测量材料或构件的应力分布不仅是分析材料性能和受力状况的......
[会议论文] 作者:李健根,李小刚,梅勇,张正元, 来源:第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份:2011
  设计了一种单片集成温湿度传感器的制造工艺,将CMOS信号处理电路和温湿度传感器集成在同一芯片上.采用聚酰亚胺作为感应环境湿度的敏感材料,并对温湿度传感器的敏感电容进......
[会议论文] 作者:李健根,李小刚,张正元,梅勇, 来源:第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 年份:2011
设计了一种单片集成温湿度传感器的制造工艺,将CMOS信号处理电路和温湿度传感器集成在同一芯片上.采用聚酰亚胺作为感应环境湿度的敏感材料,并对温湿度传感器的敏感电容进行对比测试分析。对聚酰亚胺厚度为1.7μm和2.4μm的两种湿度传感器,将环境温度保持在25℃,使......
[期刊论文] 作者:梅勇,张正元,李健根,李小刚,冯志成,, 来源:微电子学 年份:2010
针对热激励硅基谐振型压力传感器温度漂移严重的问题,提出了一种双梁硅基谐振型压力传感器结构,利用不测试压力的谐振梁感应温度对谐振梁的变化,并与测试压力的谐振梁相减,消...
[期刊论文] 作者:李健根,丁杰雄,杨修浩,戴仙金,华晨辉,, 来源:机械科学与技术 年份:2008
研究了基于声弹性理论,利用临界折射纵波(critically refracted longitudinal wave,LcR波)从构件表面测量内部切向应力时的几个关键问题。应力测量接收到的波形非常复杂,其他的波...
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