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[期刊论文] 作者：李巨晓,庄力,,
来源：半导体技术 年份：2008
机械振动是直拉法单晶生长过程中不可避免的因素,影响单晶的正常生长。从生长机理方面看,传递到熔体的振动会引起熔体内对流的变化,对固-液界面的稳定性造成干扰,从而影响单...
[期刊论文] 作者：李巨晓,孙新利,王飞尧,何国君,,
来源：半导体技术 年份：2010
晃动是直拉法硅单晶生长中的常见现象。晃动会导致晶体生长控制系统出现异常,提拉速度波动幅度大,同时还引起熔体对流的不稳定以及杂质微观扩散的紊乱。这不仅对硅单晶的无位...
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