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[学位论文] 作者：杨清斗,
来源：深圳大学 年份：2007
近年来，随着社会的高度信息化，表面声波器件已经被大量用于日常生活中，如卫星通讯、网络通讯及无线通讯等，而对于轻薄短小高频元器件的需求更是与日俱增。由于表面声波器件具有体......
[期刊论文] 作者：刘文,杨清斗,李华平,王质武,,
来源：材料热处理学报 年份：2008
采用直流反应磁控溅射方法,在铝基板上制备了AlN薄膜。利用X射线衍射仪、带能量色散谱仪的扫描电子显微镜、阻抗特性测试仪、椭圆偏振光谱仪、大荷载划痕仪等对薄膜特性进行...
[期刊论文] 作者：王质武,刘文,杨清斗,卫静婷,
来源：人工晶体学报 年份：2006
采用直流磁控溅射法，Al靶直径75mm，靶基距9cm，本底真空3×10^-5Pa，气体分压N2／Ar=1／3，工作气压0．2Pa，溅射功率72W，溅射时间1h，溅射过程不加热，使其自然升温，在Si（100）衬底上制备MN薄膜。......
[期刊论文] 作者：杨清斗,刘文,王质武,卫静婷,,
来源：硅酸盐通报 年份：2007
用直流磁控溅射方法在硅衬底上制备氮化铝薄膜。X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了薄膜的结构和成分；椭圆偏振仪测量并拟合获得AlN薄膜在250～1000nm波长范围内的折射率和消...
[期刊论文] 作者：刘文,王质武,杨清斗,卫静婷,,
来源：压电与声光 年份：2007
在Si（111）基底上利用直流磁控溅射系统沉积氮化铝（A1N）薄膜，X-射线衍射分析薄膜结构和取向，原子力显微镜分析薄膜表面形貌，X-射线光电子能谱分析薄膜的元素化学价态和组分。结果表明......
[期刊论文] 作者：刘文,王质武,杨清斗,刘毅,卫静婷,唐伟群,
来源：硅酸盐学报 年份：2007
采用直流磁控溅射法在石英衬底上制备了氮化铝（AIN）薄膜。用X射线衍射仪分析了薄膜结构。利用椭圆偏振仪和紫外／可见／近红外分光光度计对AIN薄膜进行了相关光学性能的研究，获得到......
[期刊论文] 作者：刘文,王质武,杨清斗,刘毅,卫静婷,唐伟群,,
来源：硅酸盐学报 年份：2007
采用直流磁控溅射法在石英衬底上制备了氮化铝(AlN)薄膜。用 X 射线衍射仪分析了薄膜结构。利用椭圆偏振仪和紫外/可见/近红外分光光度计对 AlN 薄膜进行了相关光学性能的研...
[期刊论文] 作者：王质武,刘文,张勇,杨清斗,卫静婷,唐伟群,张浩希,
来源：功能材料 年份：2007
介绍了稀土掺杂氮化镓（GaN：RE）的发光机理及其掺杂的方法（热扩散、离子注入和原位掺杂），对各种方法的优势及其存在的问题进行了点评，综述了近年来国内外稀土掺杂GaN的研究进展及其相......
[期刊论文] 作者：卫静婷,冯玉春,李炳乾,杨建文,刘文,王质武,施炜,杨清斗,
来源：液晶与显示 年份：2006
通过采用环形传输线方法（CILM），电流-电压（I-V）曲线、表面形貌等方法，研究不同的Ni／Au厚度比和空气气氛下合金退火温度对p型氮化镓欧姆接触特性造成的影响。根据Ni／Au与p型氮化镓欧姆......
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