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[学位论文] 作者：桑永奇,,
来源：西安电子科技大学 年份：2009
Si1-xGex/Si异质结应变材料作为下一代Si材料,因其在Si1-xGex/Si异质结高速器件和光电器件等领域广阔的应用前景而引起人们的广泛关注。Si1-xGex/Si应变材料的生长机理和生长...
[学位论文] 作者：桑永奇,
来源：西安电子科技大学 年份：2009
Sil-xGex/Si异质结应变材料作为下一代Si材料，因其在Si1-xGex/Si异质结高速器件和光电器件等领域广阔的应用前景而引起人们的广泛关注。Si1-xGex/Si应变材料的生长机理和生长动力学模型的研究对制备低缺陷、高质量的材料和器件具有重要的理论指导意义。本文系统......
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