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[期刊论文] 作者：森清人,王秀春,
来源：微电子学 年份：1984
近年来,半导体工业在微细加工技术方面取得了令人震惊的进步,集成电路每块芯片上的元件数也正在急剧地增加着。针对微细的LSI制造工艺这种迅速进步的情况,有关的外围行...
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