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[会议论文] 作者：鄭凱仁, 楊捷宇, 李錫霖,,
来源： 年份：2004
随著晶元元件之尺寸朝向微小化,使得晶元生产作业对环境微振动的要求亦趋为严苛。高科技厂房为了管线配置一般使用高架地板,而高架地板通常会使楼版的振动放大数倍。本研究将...
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