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[学位论文] 作者：楚信谱,,
来源：大连理工大学 年份：2004
本文首先使用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法制备了含氢碳膜，Raman光谱研究表明，当射频功率从500W上升到700W时，I_D／I_G从0.66增加到1.14，sp~2团簇尺寸变大；纳米压痕分...
[期刊论文] 作者：楚信谱,苟伟,李国卿,柳翠,
来源：真空科学与技术学报 年份：2006
采用高压探头示波器系统研究了射频辉光放电参数对自偏压的影响规律.结果发现自偏压随着射频功率平方根而线性增加,随纯Ar和Ar,C2H2混合气体气压的降低而降低,自偏压随C2H2的...
[期刊论文] 作者：楚信谱，苟伟，李国卿，柳翠，ChuXinpu，GouWei，,
来源：真空科学与技术学报 年份：2006
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[会议论文] 作者：楚信谱, 苟伟, 李剑锋, 张礼平, 李国卿,,
来源： 年份：2004
类金刚石薄膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等,显示出良好的应用前景越来越受到人们的关注。本文利用脉冲辉光 PECVD 在不同的气体...
[期刊论文] 作者：苟伟,李剑锋,楚信谱,张礼平,李国卿,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2008
类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注。本文利用脉冲辉光PECVD在不同的脉冲电压下...
[期刊论文] 作者：苟伟，李剑锋，楚信谱，张礼平，李国卿，GouWei，LiJi,
来源：真空科学与技术学报 年份：2008
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[期刊论文] 作者：楚信谱,苟伟,李剑锋,张礼平,吕世功,李国卿,,
来源：真空 年份：2008
类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注。本文首先利用朗谬耳探针对基底附近的等离子...
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