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[学位论文] 作者：欧阳炜霞,,
来源： 年份：2009
可重构滤波器是雷达和现代多频带通信系统中的重要元件,MEMS可重构滤波器克服了传统可重构滤波器的缺点,具有低功耗、高隔离、低的插入损耗、体积小,以及可以实现各个通信部...
[期刊论文] 作者：刘蕾,郭兴龙,欧阳炜霞,赖宗声,,
来源：传感技术学报 年份：2008
介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、...
[期刊论文] 作者：郭兴龙,金妍,刘蕾,欧阳炜霞,赖宗声,,
来源：中国科学(E辑:信息科学) 年份：2008
采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振...
[期刊论文] 作者：王超, 张永华, 郭兴龙, 欧阳炜霞, 赖宗声,,
来源：电子工艺技术 年份：2009
以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺做材料难于去除,或单独使用光刻胶做材料,叠层旋...
[期刊论文] 作者：欧阳炜霞,张永华,王超,郭兴龙,赖宗声,,
来源：微纳电子技术 年份：2008
基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积...
[期刊论文] 作者：张永华,欧阳炜霞,刘蕾,郭兴龙,赖宗声,王硕,,
来源：传感器与微系统 年份：2008
滤波器是频率转换系统(如,调谐电路、接收器)的基本构成模块。借助于MEMS技术实现的滤波器不仅带来插入损耗、功耗、线性等性能的改善,也有利于将整个通信前端集成到单一芯片...
[期刊论文] 作者：张永华,欧阳炜霞,汪红,丁桂甫,蔡炳初,赖宗声,
来源：微细加工技术 年份：2007
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难.对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化...
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