论文部分内容阅读
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难.对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究.经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材料和多元结构形式的一体化集成加工.
基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作
【摘 要】
：
电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难.对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化
【机 构】
：
华东师范大学
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2007年5期
【基金项目】
：
国家863计划资助项目(2003AA404140),信息产业部电科院预研资助项目(41308050116),国家自然科学基金资助项目(60676047),上海-应用材料研究发展基金资助项目(06SA11),上海交通大学优秀博士学位论文基金资助项目
其他文献
本文通过对室温时效二年的Cu-14Al-4Ni形状记忆合金进行电子显微研究,发现形状记忆合金中的马氏体在室温产生缓慢的亚结构变化,出现定向有序畴和晶界过渡区,孪晶界被破坏。矩
3×10<sup>17</sup>Cion/cm<sup>2</sup>在80keV的能量下注入到Ti-6Al-4V合金中。在应力控制的拉-零试验条件下,发现C<sup>+</sup>注入试样的疲劳极限提高了28%。利用扫
由中国国际贸易委员会、江苏三角洲国际会展有限公司、无锡太湖国际博览中心联合承办的2019中国无锡太湖国际机床展将于2019年3月7日在无锡太湖国际博览中心拉开序幕。
在紫外光对液态树脂进行固化成型过程中,扫描光斑的直径、光强和扫描速度等工艺参数对固化结果有着直接影响.首先结合高斯光束的固化理论分析,从平面固化成型基本要素的直线
应用SolidWorks三维机械设计软件中的静力学算例、设计算例和拓扑算例对摄影机器人的底盘结构进行优化设计。对原有的摄影机器人底盘结构进行三维建模和静力学应力分析,确认
本文通过对Al-2.2Li-2.5Cu-0.2Mg合金在不同热处理条件下的金相、透射电镜观察以及力学性能测试,研究了其沉淀相变化与性能的关系。结果表明,经525℃（1h）固溶处理时,合金元素得
本文研究了母相晶粒度和有序度对Cu-25.62Zn-3.97Al-0.0018B(wt-％)记忆合金形状回复的影响。试样的回复量通过圆弧弯曲法测定。建立了回复率与有序度、晶粒尺寸、晶界影响区宽
本文采用X射线衍射、高分辨电镜和X射线光电子能谱仪对气相蒸发法所制备的Fe超微粒子的形态、组成、晶体结构和表面状态进行了研究。结果表明Fe超微粒子呈球形、直径大约20um
研究了淬火温度对30Cr3SiNiMoV超高强度钢在3.5%NaCl水溶液中的应力腐蚀断裂的影响。淬火温度从870℃升高到1200℃时,应力腐蚀断裂门槛值K_(ISCC)不断升高,均为沿晶断裂。对