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[会议论文] 作者：毋正伟,陈德勇,杨苗苗,
来源：中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会 年份：2006
介绍了一种均齿结构电容式硅微机械加速度传感器，对结构进行了设计、分析和有限元模拟。并采用体硅MEMS(Micro-electromechanical System)硅-玻璃阳极键合和DRIE工艺制作...
[期刊论文] 作者：毋正伟,陈德勇,夏善红,,
来源：微纳电子技术 年份：2010
在采用Si-玻璃阳极键合技术制备微惯性传感器的过程中,实验发现键合圆片中心区域键合失效。通过对键合机理和工艺过程进行分析,认为湿法腐蚀工艺引入钾离子(K+)污染是造成键...
[期刊论文] 作者：毋正伟,陈德勇,杨苗苗,徐磊,,
来源：传感器与微系统 年份：2006
介绍了一种基于体硅微机电系统（MEMS）工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器，对制作过程的一些工艺问题进行探讨，并提出相应的解决办法，主要涉及到硅一玻璃阳极键合、结构释放等关......
[期刊论文] 作者：高振宁,陈德勇,王军波,毋正伟,,
来源：微纳电子技术 年份：2008
利用微电子机械加工技术成功研制出电磁激励-电磁拾振硅谐振梁式压力传感器。传感器以“H”型双端固支梁为谐振器，采用差分检测结构。工艺制作采用体硅加工工艺，并且采用一种减......
[期刊论文] 作者：陈德勇,陈健,毋正伟,王军波,陈李,,
来源：微纳电子技术 年份：2007
为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性，提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构，并对其进行了有限元模拟分析。该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振......
[期刊论文] 作者：陈李,陈德勇,王军波,毋正伟,张明,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2009
提出了一种新型的电磁式微机械振动环陀螺结构.为优化陀螺的设计和提高陀螺的性能,在推导微机械陀螺集总参数模型的基础上,建立了电磁式微机械振动环陀螺的数学模型,得到了影...
[期刊论文] 作者：陈李,陈德勇,王军波,毋正伟,张明,
来源：光学精密工程 年份：2009
为改进振动环陀螺的模态匹配并提高其品质因数，设计了一种采用全对称结构实现模态匹配的电磁式微机械振动环陀螺。通过理论推导，建立了陀螺灵敏度和机械噪声的数学模型，分析了陀......
[会议论文] 作者：陈李,陈德勇,毋正伟,杨苗苗,陈健,
来源：中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会 年份：2006
本文介绍了陀螺仪的发展历程及微机械振动式陀螺仪的工作原理和分类，按结构的不同分别介绍了几种主要的微机械振动式陀螺仪的工作机理，讨论了其亟待解决的问题及未来的发展......
[期刊论文] 作者：史晓晶,陈德勇,王军波,毋正伟,刘磊,,
来源：传感技术学报 年份：2009
提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片,从而实现了谐振器与压力膜的一体化,避免...
[期刊论文] 作者：杨苗苗,陈德勇,王军波,陈健,毋正伟,陈李,,
来源：传感技术学报 年份：2006
在测量硅微电容式加速度传感器时,由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰,提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况,作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容...
[期刊论文] 作者：毋正伟,彭春荣,杨鹏飞,闻小龙,李冰,夏善红,,
来源：电子与信息学报 年份：2015
为了降低传感器的驱动电压,提高该器件的品质因数和信噪比,该文研究封装材料和工艺对真空封装性能的影响,针对一种微机电系统(MEMS)谐振式微型电场敏感结构芯片,采用独特的共...
[期刊论文] 作者：陈健,陈德勇,王军波,杨苗苗,毋正伟,陈李,
来源：测控技术 年份：2006
主要研究了静电激励／电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题，分析了几种干扰源，建立了同频干扰的电路等效模型，提出一种基于双端激励／双端检测的结构，采用二次差分的方式消......
[期刊论文] 作者：陈健,陈德勇,王军波,杨苗苗,毋正伟,陈李,
来源：传感技术学报 年份：2006
主要研究静电激励／电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题，推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型，分析谐振梁的同频干扰问题，建立其等效电路模型，提出一种基于双端激励／双端检测的结构......
[期刊论文] 作者：陈健,陈德勇,王军波,杨苗苗,毋正伟,陈李,,
来源：传感技术学报 年份：2006
主要研究静电激励/电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题,推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型,分析谐振梁的同频干扰问题,建立其等效电路模型,提出一种基于双端激励/双端检测...
[期刊论文] 作者：修日,杨鹏飞,毋正伟,任仁,郑凤杰,彭春荣,
来源：仪表技术与传感器 年份：2021
为提高传感器的灵敏度和分辨力,设计了一种灵敏度可调节的基于模态局域化效应的谐振式MEMS电场传感器敏感结构。传感器敏感结构采用静电耦合的三自由度谐振器微结构方案,并可...
[期刊论文] 作者：王子龙,刘向明,高雅浩,彭思敏,修日,杨鹏飞,毋正伟,彭春荣,
来源：仪表技术与传感器 年份：2021
针对表面电势测量应用,研制了一种基于模态局域化的高性能MEMS静电压传感器.传感器敏感结构采用三自由度静电弱耦合硅微机械谐振器结构,用以实现高灵敏电压测量.通过理论计算和有限元仿真,分析了静电压传感器的幅频特性和灵敏度等关键特性,制作了传感器芯片并搭......
[期刊论文] 作者：雷虎成,夏善红,彭春荣,毋正伟,张洲威,刘俊,彭思敏,刘向明,高雅浩,
来源：电子与信息学报 年份：2020
该文提出一种基于锆钛酸铅（PZT）的低电压驱动微机电系统（MEMS）电场传感器。该传感器基于电荷感应原理，其敏感单元由固定电极和可动电极构成。固定电极与可动电极均为感应电极，同时两者又是屏蔽电极。在PZT压电材料的驱动下，可动电极产生垂直于敏感芯片基底的振动并且与......
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