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[期刊论文] 作者:王从曾, 马捷, 毕安园, 周美玲,, 来源:材料热处理学报 年份:2005
介绍了化学气相沉积法制备难熔金属钼膜层的原理和方法.以MoF6和H2为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层.分析研究了沉积层的组织、结构和硬度.实验结...
[期刊论文] 作者:马捷,毕安园,王从曾,周美玲, 来源:真空科学与技术学报 年份:2005
以MoF6、WF6以及H2为原料,用化学气相共沉积的方法,成功地在铜基片表面沉积出钼钨合金.实验分析表明:沉积层结构为单相均匀固溶体.在钼含量高时沉积层显微组织呈细晶层状结构...
[期刊论文] 作者:马捷,毕安园,王从曾,周美玲,, 来源:稀有金属材料与工程 年份:2005
介绍了化学气相沉积法(CVD)制备难熔金属钼膜层的原理和方法.以MoF6和H2为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层.分析研究了沉积层的组织、结构和硬度....
[期刊论文] 作者:马捷,张好东,毕安园,王从曾,周美玲,, 来源:兵工学报 年份:2006
采用化学气相沉积的方法,以WF6和H2为原料,通过气相反应成功地沉积出多种异型致密钨制品.实验结果表明:沉积层显微组织呈柱晶沿(200)晶面择向生长,具有高纯度(〉99.8%),高致密度(〉......
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