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[学位论文] 作者：汪奥晨,
来源：兰州大学 年份：2023
金属氧化物半导体（metal oxide semiconductor,MOS）基气体传感器,由于具有使用寿命长、结构简单、易集成等优点,在很多领域都有广泛应用。MOS基气体传感器是利用MOS材料与目标气体之间发生可逆的氧化还原反应,并引起MOS薄膜电导率的变化来进行气体浓度检测。但是......
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