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[期刊论文] 作者:朱京涛,岳帅鹏,涂昱淳,张一志, 来源:光学精密工程 年份:2015
针对“水窗”波段(280~540 eV)对多层膜反射镜的应用需求,在Ti的L吸收边(452.5 eV)附近,优化设计了Co/Ti多层膜的膜系结构.计算了不同界面粗糙度条件下的反射率,结果显示,界面粗糙...
[期刊论文] 作者:岳帅鹏,朱京涛,涂昱淳,张一志, 来源:光学仪器 年份:2014
针对“水窗”波段(280~540eV)对多层膜反射镜的应用需求,在Sb的M。吸收边(525.5eV)附近,选择Co和Sb作为该能点的多层膜材料组合,优化设计膜系结构。采用直流磁控溅射方法制备了Co/SB多......
[期刊论文] 作者:张冰烨,袁妍妍,涂昱淳,孙健,兰睿,晏超, 来源:江苏科技大学学报:自然科学版 年份:2021
采用Ti靶和ZrO_( 2)靶在Ar、N_( 2)混合气氛中进行反应磁控溅射的方法,在不同预处理的基底上沉积制备了一系列的TiN/ZrON周期结构多层膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(A...
[期刊论文] 作者:张冰烨,袁妍妍,涂昱淳,孙健,兰睿,晏超, 来源:江苏科技大学学报(自然科学版) 年份:2021
采用Ti靶和ZrO2靶在Ar、N2混合气氛中进行反应磁控溅射的方法,在不同预处理的基底上沉积制备了一系列的TiN/ZrON周期结构多层膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和纳...
[期刊论文] 作者:何世峰,涂昱淳,冯志祥,岳帅鹏,王风丽,朱京涛,, 来源:强激光与粒子束 年份:2014
为制备硼边附近6.7nm波长的极紫外高反射率多层膜反射镜,研究了Mo2C/B4C,Mo/B4C周期多层膜,重点解决薄膜应力难题。采用直流磁控溅射技术制备了膜层厚度为30nm的Mo,Mo2C,B4C单层膜,周......
[期刊论文] 作者:涂昱淳,宋竹青,黄秋实,朱京涛,徐敬,王占山,李乙洲,刘佳琪, 来源:强激光与粒子束 年份:2011
采用磁控溅射方法在Si基板上镀制了横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜。以X射线掠入射反射测量了横向梯度多层膜的膜系结构,在基板65mm长度范围内,多层膜周期从8.21nm线性减小到...
[期刊论文] 作者:舒桦,涂昱淳,王寯越,贾果,叶君建,邓文,束海云,杨艳平,杜, 来源:物理学报 年份:2018
根据神光-Ⅱ第九路高功率激光加载的特点,对传统静高压金刚石压砧装置进行了改进和优化设计,研制出了适合高功率激光加载条件下材料宽域状态方程研究的新型静高压靶.在神光-...
[期刊论文] 作者:涂昱淳,宋竹青,黄秋实,朱京涛,徐敬,王占山,李乙洲,刘佳琪,张力,, 来源:强激光与粒子束 年份:2011
采用磁控溅射方法在Si基板上镀制了横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜。以X射线掠入射反射测量了横向梯度多层膜的膜系结构,在基板65mm长度范围内,多层膜周期从8.21nm线性减小到...
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