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[学位论文] 作者：游利兵,
来源：中国科学院合肥物质科学研究院 年份：2009
准分子激光在紫外波段具有大能量、高峰值功率激光输出，在工业、医学和科研等领域得到广泛应用。小能量准分子激光主要应用于半导体光刻、材料微细加工、眼科屈光度矫正激光手......
[期刊论文] 作者：梁勖,游利兵,黄德文,
来源：激光杂志 年份：2010
介绍了一个用于准分子激光器自动充排气的系统,它由单片机控制的组合电磁阀门构成。文章阐明了系统、机械、电气和软件的结构。在KrF准分子激光器上实现了重复精度较好的自动...
[期刊论文] 作者：梁勖,游利兵,余吟山,,
来源：量子电子学报 年份：2010
介绍了一种基于热释电探头的准分子激光能量检测系统，实现了对0—200Hz重复率运行的准分子激光单个脉冲及多脉冲系列的能量实时检测。它由探头、放大、峰值保持、MCU、显示和...
[期刊论文] 作者：游利兵,程超,方晓东,
来源：强激光与粒子束 年份：2019
简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求。简述了高压脉冲电源的基本原理及应用,介绍了全固态高压脉冲电源的结构和特点。着重阐述了全...
[期刊论文] 作者：游利兵,梁勖,余吟山,,
来源：中国激光 年份：2010
准分子器件重复频率高于千赫兹时,闸流管作为传统的放电开关由于寿命瓶颈而不能满足长期稳定工作的要求。采用固体开关结合磁脉冲压缩技术的固态脉冲功率模块(SSPPM)来替代闸...
[期刊论文] 作者：尹广玥,游利兵,方晓东,,
来源：激光技术 年份：2016
介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系...
[期刊论文] 作者：游利兵,梁勖,黄德文,余吟山,,
来源：激光杂志 年份：2009
设计了一种用于高重复率准分子激光器的正弦恒流型高压开关电源，逆变主电路采用串联谐振回路，输出电压10kV至15kV，重复率1Hz至300tk。分析了逆变回路工作情况，介绍了变压器的参数......
[期刊论文] 作者：黄德文,游利兵,梁勖,余吟山,
来源：量子电子学报 年份：2009
针对光刻用准分子激光器的激励技术，利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析，验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用。耦合系数越接近于1，高压充电时......
[期刊论文] 作者：陈星,游利兵,尹广玥,方晓东,
来源：激光技术 年份：2019
相对于近红外波段的飞秒激光脉冲,紫外波段的飞秒脉冲由于具有单光子能量高、聚焦特性好、电离率高和成丝阈值低等优点,在高功率密度光场的产生、等离子体光物理等领域有着越...
[期刊论文] 作者：梁勖,游利兵,王涛,余吟山,,
来源：中国激光 年份：2010
介绍了一种准分子激光脉冲能量稳定系统。它由能量检测、开关电源和控制器组成。其组成部分均良好屏蔽,组件之间由光纤传递信息,通过均值算法进行脉冲-脉冲的放电电压调节,在...
[期刊论文] 作者：黄德文,游利兵,梁励,余吟山,
来源：量子电子学报 年份：2009
针对光刻用准分子激光器的激励技术，利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析，验证了桐合系数于与压缩高压无电时间的重要作用。捐合系数越接近于1 ，高压无电时间越短。介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程，并提出了一种控制谐振充电的方......
[期刊论文] 作者：余吟山,游利兵,梁勖,方晓东,,
来源：中国激光 年份：2010
介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史。着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术,如大能量与大功...
[期刊论文] 作者：赵家敏,游利兵,余吟山,方晓东,,
来源：强激光与粒子束 年份：2013
研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容...
[期刊论文] 作者：赵家敏,游利兵,余吟山,方晓东,,
来源：量子电子学报 年份：2013
实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理，介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用。分析了大能量高功率准分子......
[期刊论文] 作者：游利兵,尹广玥,王庆胜,方晓东,,
来源：中国激光 年份：2016
设计了一种紧凑型放电引发非链式氟化氘(DF)脉冲激光器,引入基于闸流管的一级磁脉冲压缩高压快上升沿放电引发回路,形成39.5kV、100ns上升沿高压快脉冲。紧凑型张氏放电电极...
[期刊论文] 作者：秦娟娟, 董伟伟, 周曙, 游利兵, 方晓东,,
来源：量子电子学报 年份：2014
极紫外光刻是采用波长为13.5 nm的极紫外光作为光源,实现半导体集成电路工艺22 nm以及更窄线宽节点的主要候选光刻技术。性能优越稳定的多层膜技术是构建整个极紫外光刻系统...
[期刊论文] 作者：罗贤锋, 游利兵, 徐健, 方晓东, 罗乐,,
来源：激光技术 年份：2020
元素成像技术是一种基于激光诱导击穿光谱(LIBS)技术的元素光谱强度成像技术,该技术拥有多元素分析能力、原位成像能力和大面积样本扫描成像能力,且样本制备简易、成像速度快...
[期刊论文] 作者：王效顺,梁勖,游利兵,赵家敏,方晓东,,
来源：激光技术 年份：2012
为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定，从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理，使用近似......
[期刊论文] 作者：王庆胜,游利兵,余吟山,赵家敏,方晓东,,
来源：强激光与粒子束 年份：2013
由于寿命制约，准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块，使用大功率......
[期刊论文] 作者：陈亮, 游利兵, 罗贤锋, 尹广玥, 方晓东,,
来源：激光技术 年份：
为了实现食盐中重金属镉(Cd)的快速定量检测,采用激光诱导击穿光谱(Laserinduced breakdown spectroscopy,LIBS)技术进行了理论分析和实验验证。193nm的自制准分子激光器作为...
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