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[期刊论文] 作者：陈建敏,游维松,,
来源：岩矿测试 年份：2009
四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种澄清、水溶性好、碱性强的有机溶剂，作为显影液广泛使用在半导体及液晶显示器（LCD）产业的光刻制程中。由于TMAH的用途广泛，对于其中杂质含量的分析至关......
[期刊论文] 作者：陈建敏,游维松,,
来源：岩矿测试 年份：2010
超纯水（UltrapureWater，UPW）在痕量元素分析中通常被用来稀释样品、清洗仪器和实验器皿等。对于超纯水中痕量元素的准确分析则取决于仪器是否有足够低的检出限和较高的分析通量...
[期刊论文] 作者：陈建敏,游维松,,
来源：岩矿测试 年份：2010
盐酸广泛应用于半导体工业。目前，半导体器件设计的线宽更小，因此更易受到低水平杂质的影响。在一些关键工艺中，为达到其所需性能和质量，...
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