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[期刊论文] 作者：苑伟政,牛昊彬,常洪龙,马炳和,,
来源：光学精密工程 年份：2010
为了预测MEMS器件与电路组成的完整MEMS系统的行为，建立了一个支持MEMS器件与电路共同仿真的原型系统。首先，根据MEMS系统级仿真与模拟电路仿真的共同特性，提出了MEMS器件与电路...
[期刊论文] 作者：牛昊彬,孙国良,王帅民,张方媛,
来源：中国惯性技术学报 年份：2020
针对小型化惯性测量单元对加速度计的集成需求,设计制作了一款全硅梳齿电容式MEMS加速度计。该加速度计采用"日"字型结构方案,检测和施力反馈电容由变间隙的梳齿组成,可动结...
[期刊论文] 作者：郝星,苑伟政,常洪龙,牛昊彬,焦文龙,,
来源：微纳电子技术 年份：2010
根据矩阵结构分析理论和弹性力学理论建立了一种宽度随长度线性变化的变截面线性梁力学模型,采用硬件描述语言实现了其参数化系统级组件。基于该组件进行的系统级仿真结果与...
[期刊论文] 作者：张方媛,牛昊彬,闫鑫,陈旭辉,李关红,
来源：中国惯性技术学报 年份：2021
为了进一步提高微机电(MEMS)陀螺在体积、重量和功耗上的优势,开展了MEMS双质量块陀螺密封腔内互联引线设计,该设计增大了陀螺的有效设计面积,减少了芯片体积,实现复杂信号引线布线。设计了齿状互联引线接口结构,分别选用Al和AlCu作为互联引线材料进行对比试验,......
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