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[学位论文] 作者:王任鑫, 来源:北京大学 年份:2013
脑机接口需要稳定,可靠的电极阵列,本文提出了三种基于柔性衬底的针尖电极阵列,柔性衬底使得阵列能贴合组织自然曲面,针尖能更好地与组织接触,以满足不同的需求。  本文提出了一......
[期刊论文] 作者:白冰,王任鑫,刘俊,, 来源:传感技术学报 年份:2017
根据硼硅酸盐玻璃的内部结构特殊性和热学性质,设计并制备出两种3D微玻璃空腔,主要讲述了3D微玻璃空腔的设计过程和吹塑成型的制备方法。CORNING Pyrex 7740玻璃是硼硅酸盐玻...
[期刊论文] 作者:王任鑫,白冰,刘源,, 来源:测试技术学报 年份:2016
本项目针对矿井通风监测问题,提出仿蟋蟀尾须纤毛的MEMS三维矢量风速计,实现三维风向和风速感知.传感器传感单元采用四梁支撑结构,信号接收区域采用"盘型"结构接收X,Y和Z方向的...
[期刊论文] 作者:申玮,张文君,王任鑫, 来源:微纳电子技术 年份:2020
为了满足湍流探测高灵敏度、高分辨率的要求,提出了一种新型纤毛微电子机械系统(MEMS)湍流传感器.基于MEMS技术制作了硅十字梁敏感受力结构,通过橡胶探头的受力振动传递水中...
[期刊论文] 作者:王任鑫 秦涛 许臻, 来源:东方教育 年份:2016
在经济全球化浪潮席卷全球和信息技术革命日新月异的背景下,管理会计已成为企业决策的基础,商业的语言。作为WTO的成员国,我国进行现代化建设,对内搞活经济,对外开放,要在经济领域内坚决贯彻“三个代表”的重要思想,在巩固和发展市场经济中,坚持社会主义,反对形形色色的......
[期刊论文] 作者:张鹏飞, 王任鑫, 白建新, 张文栋,, 来源:压电与声光 年份:2019
为了满足多领域中水下复杂环境声压检测的需要,提出了一种基于微机电系统(MEMS)的电容式声压水听器,开发出注油孔及注油沟道设计,将传感器封装于硅油中,通过平衡振动薄膜内外...
[期刊论文] 作者:任子明,白冰,王任鑫,张国军,, 来源:微纳电子技术 年份:2017
梳齿式电容加速度计对梳齿的形貌有很高的要求,如需要梳齿侧壁具有良好的垂直度和粗糙度等。利用深硅刻蚀机对梳齿结构进行加工需要对刻蚀参数进行分析和调整。以SF6和C4F8为...
[期刊论文] 作者:张鹏飞,王任鑫,李照东,张文栋, 来源:微纳电子技术 年份:2020
针对水下设备平台对于声压信号探测的需要,设计了一款微电子机械系统(MEMS)电容式声压水听器,通过理论分析和Comsol仿真分析,确定水听器敏感振动薄膜的半径为600 μm,膜厚为3...
[期刊论文] 作者:白建新, 程丽霞, 史一明, 王任鑫,, 来源:微纳电子技术 年份:2019
针对目前Ag/AgCl湿电极存在导电膏干涸而导致的信号质量变差、电极-皮肤接触阻抗变大等问题,提出一种可测量生物电信号的柔性干电极的制备方法。结合深反应离子刻蚀(DRIE)和...
[期刊论文] 作者:朱晓航,王任鑫,白建新,张鹏飞, 来源:传感器与微系统 年份:2021
为了对表面镀有纳米级别金属层的聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜上进行金属图案化处理,利用光刻技术,分别通过湿法腐蚀和干法刻蚀两种途径。实施了不同配方的湿法腐蚀、离子束刻蚀...
[期刊论文] 作者:宋金龙, 何常德, 王任鑫, 薛晨阳, 张文栋,, 来源:微纳电子技术 年份:2019
为了满足采煤机械工作状态在线监测在线分析系统对微纳传感系统小型化和集成化的要求,设计了一种将压阻式振动传感器与铂电阻温度传感器集成的多参量微纳集成传感器。振动传...
[期刊论文] 作者:史一明,齐秉楠,宋金龙,王任鑫,张国军, 来源:微纳电子技术 年份:2020
随着水下消声技术的发展,水下目标探测难度越来越大,单个水听器难以实现有效探测,需组成水听器阵列,而现有微电子机械系统(MEMS)矢量水听器存在粘接纤毛一致性相对较差、阵列...
[期刊论文] 作者:程丽霞,郝晓剑,王任鑫,刘国昌, 来源:微纳电子技术 年份:2021
为了解决柔性压力传感器在大的工作范围内工作时难以兼顾灵敏度的问题,设计了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)锥形微结构且夹层为石墨烯泡沫的柔性压力传感器.介绍了该传感器的...
[期刊论文] 作者:沈倪鑫, 杨晟辉, 王任鑫, 张国军, 张文栋,, 来源:电子器件 年份:2019
针对水声信号探测和MEMS矢量水听器工程应用的需求,设计了一种应用于低频水声信号探测的小型潜标系统,该系统具有体积小、成本低、布放回收简便等优点。系统以FPGA为控制核心...
[期刊论文] 作者:廉宇琦, 张国军, 王卫东, 张小勇, 王任鑫,, 来源:电子器件 年份:2019
针对心音信号与MEMS电子听诊器声传感特点,设计了一种应用于该传感器的信号调理、采集传输系统,带宽为20 Hz~1 kHz。该系统以stm32和hc-05蓝牙模块为控制核心实现信号的采集...
[期刊论文] 作者:沈倪鑫, 王任鑫, 张国军, 杨晟辉, 张文栋,, 来源:仪表技术与传感器 年份:2019
针对水下声信号探测和电容式声压传感器阵列工程应用的需求,设计了一种应用于该传感器阵列的信号采集存储系统。该系统解决了实际应用中电容式声压传感器阵列输出信号无法直...
[期刊论文] 作者:朱晓航,王任鑫,张国军,张文栋,李霁恬, 来源:电子设计工程 年份:2022
目前人工耳蜗需麦克风+专用电路来实现频率分选的功能,这使得设备的体积和功耗均较大,通过MEMS技术可以将器件小型化,而仿生学中人耳的纤毛细胞与鱼类侧线纤毛细胞结构类似,且哺乳动物的听觉系统具有丰富的特征,这些关键特征包括频率分选性、低水平刺激的非线性......
[期刊论文] 作者:王任鑫,刘源,张国军,刘俊,薛晨阳,张文栋,, 来源:传感器与微系统 年份:2015
针对目前水听器的聚氨酯封装所导致的窄频带问题,提出一种新的高疏水Parylene薄膜无透声帽封装矢量水听器,即利用Parylene薄膜的淀积高保形性、低渗透性和高绝缘性实现无透声...
[期刊论文] 作者:齐秉楠,王任鑫,史一明,苗晋威,任子明, 来源:微纳电子技术 年份:2021
水听器是水下探测的主要仪器,通过对其结构的研究和改进可显著提升其性能.针对现阶段矢量水听器所采用的纤毛二次集成方式所造成的一致性误差较大的问题,以硅纳米膜作为压敏...
[期刊论文] 作者:齐秉楠,苗晋威,史一明,任子明,王任鑫, 来源:微纳电子技术 年份:2021
随着水下探测技术的发展,为满足水听器更精准的定位和更远距离的探测要求,提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)的压阻式一体化矢量水听器。设计了一套能够将硅纤毛与二氧化硅悬臂梁相集成的工艺方案,以期解决长期以来由于纤毛二次集成带来的一致性误差。对水听......
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