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[期刊论文] 作者:成荣,王希远,朱煜,杨开明,, 来源:清华大学学报(自然科学版) 年份:2017
光刻机工件台是光刻机的关键子系统,其中的线管组件是其传输信号、动力及冷却液等必不可少的组成部分。线管组件产生的扰动力会恶化工件台系统的超精密运动性能,因此抑制线管...
[期刊论文] 作者:王希远,成荣,朱煜,孙贤,, 来源:液晶与显示 年份:2016
为了满足光刻机工件台超精密运动控制系统对位移测量的需求,本文提出了基于FPGA的BiSS-C协议解码方法,并针对该方法进行了电路设计以及实验验证。首先,研究了BiSS-C协议内容,...
[期刊论文] 作者:赵丹, 王希远, 赵梓淇, 王文标,, 来源:度假旅游 年份:2018
本文选取地质公园节事活动为研究对象,发现其在营销传播过程中存在着诸多问题。目前尚未有人通过IEMC理论进行地质公园节事活动营销影响的研究,因此本团队将以IEMC理论为主要...
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