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[会议论文] 作者：王晓冬[1]巴德纯[1]蒋婷婷[1]周亚[1]李景舒[1]陶继忠[2],
来源：中国真空学会2014年年会 年份：2014
涡轮分子泵作为获得清洁高真空、超高真空环境的主要设备，在半导体、粒子加速器、薄膜制备、小型环境模拟等装置中得到应用。涡轮分子泵主要工作在分子流态下，其抽气性能由......
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