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[会议论文] 作者：王江涌[1]刘毅[2],
来源：中国真空学会2012学术交流会 年份：2012
在广泛应用于溅射深度剖析定量分析的MRI模型基础上,首先引入了一个新的参数用以考虑因择优溅射而引起的失真效应,并定量分析了有着明显择优溅射的Ta(7.5nm)/Si(10.5nm)...
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