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[期刊论文] 作者:田中章浩,, 来源:珠宝科技 年份:2004
类金刚石薄膜等硬质碳膜具有许多优异特性,其开发研究已引起人们的极大关注.文章就类金刚石薄膜和金刚石薄膜的最新制备方法与各种特性进行了解说....
[期刊论文] 作者:张伟,张纾,田中章浩,徐滨士,, 来源:摩擦学学报 年份:2006
采用等离子体辅助化学气相沉积法在单晶硅表面制备由硬/软亚层交替构成的类金刚石多层膜,通过调整工艺参数获得亚层厚度在25~1000nm之间的DLC多层膜,采用球-盘摩擦磨损试验机探讨......
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