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[期刊论文] 作者：胡明,崔梦,田斌,窦燕巍,
来源：压电与声光 年份：2004
简要介绍了MEMS的发展状况及CMOS工艺在MEMS中的地位.主要介绍了pre-CMOS, intermediate-CMOS和post-CMOS三种不同的CMOS MEMS工艺.详细讨论了CMOS MEMS今后将面临的挑战及其...
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