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[学位论文] 作者：简福建,
来源：东南大学 年份：2009
通过大量重复性实验寻求MEMS器件或结构的最佳工艺参数不仅代价昂贵、周期长、不确定因素多，而且难以对工艺的机理准确理解。MEMS工艺模拟很好地弥补了实验的不足，同时也方便设......
[期刊论文] 作者：简福建,李伟华,
来源：光学精密工程 年份：2009
微机电系统工艺模拟可在实际加工前预测MEMS器件的实际结构，有利于理解工艺机理，缩短设计周期，减少生产费用。针对目前用于MSMS器件分析的模拟软件尚不能很好地与有限元软件对接......
[期刊论文] 作者：简福建,李伟华,,
来源：光学精密工程 年份：2009
微机电系统工艺模拟可在实际加工前预测MEMS器件的实际结构,有利于理解工艺机理,缩短设计周期,减少生产费用。针对目前用于MSMS器件分析的模拟软件尚不能很好地与有限元软件...
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