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微机电系统工艺模拟可在实际加工前预测MEMS器件的实际结构，有利于理解工艺机理，缩短设计周期，减少生产费用。针对目前用于MSMS器件分析的模拟软件尚不能很好地与有限元软件对接的问题，设计了工艺模拟软件与有限元分析软件的接口。通过这个接口。将MEMS工艺模拟所得到的数据经过数据格式的转换导入有限元分析软件（ANSYS）中并建模，使之可以进行诸如机械、热、电等物理参量的分析。在分析了目前关于（曲线）边界轮廓提取的各种方法后，引进了最大圈算法．解决了工艺模拟结果在有限元软件中的模型重构问题，实现了从工艺模拟到有