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[学位论文] 作者：罗咏洲,
来源： 年份：2016
透明导电的铌掺杂二氧化钛(TNO)具有导电性好和可见光波段透射率高的性质,与标准半导体制造工艺兼容性好,容易制备成膜和其他各种纳米结构。掺铌二氧化钛透明导电氧化物(TCO)薄膜在近红外(NIR)波段其介电常数的实部可为负值,同时相较于传统的贵金属等离子体材料......
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