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[期刊论文] 作者：罗塔尔·库格勒,,
来源：光机电信息 年份：2008
1引言微型化是制造业未来10年发展面临的挑战和动力。人类社会的进步,特别是人们对于日用消费新产品的需求,促使精密光机电技术迅猛发展。现有1 Introduction Miniaturizat...
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