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[学位论文] 作者:耿赛柳,,
来源: 年份:2013
近年来,随着微机电系统技术的迅速发展,使得传感器的微型化得到了长足进步,以微机械惯性传感器为代表的微加速度计应用更加广泛,如何对微机械加速度计进行标定和性能测试也是该......
[期刊论文] 作者:耿赛柳, 徐大诚, 郭述文,,
来源:传感器与微系统 年份:2013
电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度。采用MS3110微小电容读取电路,根据其输出函数的要求,只要确定Cs1...
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