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[期刊论文] 作者：李战国 苗利刚 周涛,
来源：科协论坛·下半月 年份：2012
摘 要：通过在硅片倒角磨轮的使用实验中，对比了烧结法磨轮和电镀法磨轮的使用情况和不同磨轮沟槽的使用效果，为磨轮的选型和磨轮的沟槽设计提供参考。 关键词：硅片倒角 倒角机 磨轮 烧结法 电镀法 粗糙度 使用寿命 中图分类号：TN3 文献标识码：A ......
[期刊论文] 作者：胡晓亮,苗利刚,张倩,,
来源：科协论坛(下半月) 年份：2012
介绍了晶圆抛光雾(Haze)产生的机理,给出了Haze在实际生产过程中的人工目检表现,同时对Haze做了分级,系统的介绍了控制Haze的因素,通过对原材料及CMP工艺的优化可有效的控制H...
[期刊论文] 作者：苗利刚,李战国,胡晓亮,,
来源：科协论坛(下半月) 年份：2012
分析了硅片倒角工艺各参数对倒角轮廓表面粗糙度的影响,从而为加工出高质量的倒角轮廓制定合理的倒角工艺参数提供参考。...
[期刊论文] 作者：罗宏文,马驷良,苗利刚,,
来源：吉林大学学报(理学版) 年份：2007
通过引入加性算子分裂(Additive Operator Splitting,AOS)方法对测地线活动轮廓模型进行数值离散,并将这种方法应用于尿沉渣显微细胞图像的分割中.该数值格式为隐格式,克服了显格式数值不稳定的缺点,加快了收敛速度,取得了令人满意的实验结果.......
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