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[期刊论文] 作者：莫振球,
来源：微细加工技术 年份：1983
本文介绍一种可用于微细加工设备密封性能较可靠的高真空阀门。并介绍了它的密封原理、结构、特点及使用范围。经三年多时间的使用证明,这种阀门具有很好的密封性能,其漏气速...
[期刊论文] 作者：莫振球,
来源：微细加工技术 年份：1984
本文论述了一种用于俄歇能谱仪试验用的小型精密样品操作架的设计,操作架允许安装25毫米×25毫米的样品。有X、Y、Z向的直线运动和一个转动,所有四个运动相互独立。直线运动...
[期刊论文] 作者：莫振球,
来源：微细加工技术 年份：1983
本文提出了一种在微细加工设备中,既能用于低、高真空密封,也可用于超高真空密封的聚四氟乙烯密封圈结构。介绍了这种密封圈的密封原理、结构、特点和试验情况。试验证明,这...
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