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[会议论文] 作者：蒋金春[1]简玮[1]谷林[2]罗以琳[1]王江涌[1],
来源：中国真空学会2014年年会 年份：2014
本文利用透射电子显微镜(TEM)对研究了镍硅(Ni/a-Si)薄膜间相互作用机制。通过对样品退火前后的对比发现：在550℃退火30min 后，镍向非晶硅中扩散，并以纳米团簇形式存在。同...
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