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[学位论文] 作者：袁丛清,
来源：西安交通大学 年份：2003
该文利用MEMS加工技术制作了微通道,为微流体的实验研究奠定了坚实的基础.通过对微流体特征问题的分析,设计了微流体压力检测实验台.在微通道的结构设计中,通过引入支流通道...
[期刊论文] 作者：陈晓南,杨培林,庞宣明,袁丛清,
来源：西安交通大学学报 年份：2004
用实验方法研究了在感应耦合等离子体(ICP)的干法刻蚀过程中,工艺参数对刻蚀速率的影响.研究结果表明,刻蚀速率随SF6气体流量、自偏压以及射频功率的增大而增大,但当SF6气体...
[期刊论文] 作者：陈晓南,袁丛清,杨培林,庞宣明,
来源：应用力学学报 年份：2004
根据微装配及柔性铰链的特点,提出了微柔顺装置(MRCC,Micro Remote Center Compliance)并对其进行了力学分析.由平衡方程和几何相容条件推导出了三个重要的设计参数--位移刚...
[期刊论文] 作者：杨培林,陈晓南,王陈春,袁丛清,
来源：西安交通大学学报 年份：2002
结合电磁轴承 转子系统 ,研究了产品设计过程的建模方法 ,建立了产品设计活动序列的网络模型及其矩阵表达 .基于设计活动的序列网络模型 ,对设计过程中各设计活动序列出现的...
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