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[期刊论文] 作者：袁根如,,
来源：科技视界 年份：2015
本文研究了采用普通的接触式光刻机采制作PSs产品，并且使光刻出的Pss具有与stepper光刻机相同的效用，研究结果表明，通过开发出的自掩膜光刻工艺技术可以制作出与stepper光刻机相...
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