搜索筛选:
搜索耗时3.9471秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 2 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：许锐彬,,
来源： 年份：2013
目前，多层材料微悬臂梁由于其特殊的性能在MEMS系统中的应用日益广泛，当器件正常工作或者移动，甚至故障时，微悬臂梁的多层结构的应力、可靠性对MEMS系统本身将产生一定的影响。本......
[期刊论文] 作者：许锐彬,,
来源：机电技术 年份：2013
针对多层微悬臂梁中沉积层厚度对整体结构固有频率的影响，运用多层微悬臂梁的弯曲振动方程，并结合边界条件建立起了多层微悬臂梁结构的有限元模型，重点分析了多层微悬臂梁结构的......
相关搜索：
