搜索筛选:
搜索耗时0.0923秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 2 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：谢伏枥,黄益森,
来源：电子计算机外部设备 年份：1995
在我们研制的光刻伺服码录写设备中,主轴伺服系统是它的重要部分,其运行的平稳性直接影响了盘片伺服图形的预刻精度。介绍了采用多闭环反馈的电机控制电路,保证了电机运行的...
[期刊论文] 作者：方祖元,谢伏枥,张江陵,倪浆铭,
来源：电子计算机外部设备 年份：1994
为了提高记录道密度，采用了预（光）刻伺服码道技术，这就需要研制、开发高精度驱动定位装置的光刻专用设备。本文介绍我们所研制的光刻伺服录写设备中的驱动定位系统。In order t......
相关搜索：
