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[期刊论文] 作者：贾陈平,屈梁生,
来源：西安交通大学学报 年份：2002
针对工业用单晶硅晶圆上所标记的大晶向的精度不能够满足微电子与机械系统 (MEMS)器件加工要求的缺点 ,提出了一种用于精确标定晶圆晶向的方法 .该方法通过一组精心设计的对...
[期刊论文] 作者：秦大同,贾陈平,杨长祺,
来源：重庆大学学报(自然科学版) 年份：2002
针对如何在普通滚齿机上低成本地提高直廓环面蜗杆加工精度的问题 ,通过采用三坐标测量机对实际齿面进行坐标测量 ,由所得的测量结果与理论的蜗杆齿面进行比较分析 ,找出机床...
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