【摘 要】
：
针对工业用单晶硅晶圆上所标记的大晶向的精度不能够满足微电子与机械系统 (MEMS)器件加工要求的缺点 ,提出了一种用于精确标定晶圆晶向的方法 .该方法通过一组精心设计的对
论文部分内容阅读
针对工业用单晶硅晶圆上所标记的大晶向的精度不能够满足微电子与机械系统 (MEMS)器件加工要求的缺点 ,提出了一种用于精确标定晶圆晶向的方法 .该方法通过一组精心设计的对比图案和随之进行的预刻蚀加工 ,把单晶硅晶圆的主晶向清晰地显示了出来 .为了准确地识别出晶圆的主晶向所在的方位 ,采用数字图像处理技术 ,对显微照相的图片进行了数学处理 .分析结果表明 ,采用所提出的方法 ,可以将晶圆的晶向定位精度由原来的± 1°～± 2° ,提高到± 0 1°以上 ,而这种对准精度对大多数MEMS器件的加工已足够了 ,后续的加工实验结果也验证了所提出方法的有效性
其他文献
作为政府、企业、市场之间联系的纽带和桥梁 ,行业协会产业治理机制的产生 ,归根结底是由社会发展的需要 ,尤其是市场需求决定的。在我国 ,目前这方面的制度需要 ,确实是强烈
文章先探讨了汉语词缀的定义、范围、特点和词缀识别中应该注意的几个问题 ,然后基于这些研究分析了《汉语水平等级标准与语法等级大纲》中词缀处理情况 ,并提出了自己的意见
若人性尊严都不能得到尊重,民生保障最多也只能算作统治者的施舍行为。当民生保障被视作民众的一种权利,国家所提供的民生保障就不能再限于是一种道德上的责任,而应当作为一
目的:探讨女性留置导尿管移位与尿路感染发生率的关系。方法:将100例女性留置导尿患者随机分为试验组50例和对照组50例。试验组患者气囊导尿后给予胶布外固定,对照组不予外固
本文对项目"基于时尚之都视角下的北京自主服装品牌形象研究"前期研究成果"成衣服装品牌形象评价体系和设计师服装品牌形象评价体系"的各层级指标构成及其权重分布进行深入的
现代社会中人们对身体健康和体检机构发展的需求日益增高,在此背景下,本文结合综合医院的经营管理策略,以创建高效、安全、人性化的体检环境为目标,探讨并总结我国大型综合医
随着经济全球化的到来,市场上信息共享、资源共享成为可能,一方面,给企业带来了更大的竞争压力,另一方面,也为企业带来了更多的投资机会,越来越多地给企业竞争打上了决策经济
日本是原本没有文字而至今还根深蒂固地借用别国文字的少数国家。汉语对日语的影响有几千年的历史,其最主要的特点是对汉字和汉语词汇的借用。日本人可谓是学习汉语的最优等
本文全面讨论了使用微积分学的方法解决多元函数的最值问题。
社会主义新农村建设离不开农村金融的支持,深入农村地区,了解农村金融需求,从而提供适合农村发展、农村实际需求的金融产品具有重要的现实意义。首先,从农户、个体工商户及中