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[学位论文] 作者：赵之琳,
来源：河北工业大学 年份：2023
化学机械抛光作为目前唯一能够实现全局平坦化的表面加工技术,其磨料方案的改进对于进一步优化CMP工艺、促进先进半导体器件的迅速发展有着重要影响。国内外针对磨料的研究方案有异形磨料、复合磨料、多种不同物质纳米颗粒混合的混合磨料;这些方案各有优点,但是......
[期刊论文] 作者：梁振, 李薇薇, 赵之琳,,
来源：电镀与涂饰 年份：2020
在化学机械抛光(CMP)用二氧化硅浆料中加入不同质量分数的混合保湿剂(由体积比为1∶1的分析纯丙三醇和三乙醇胺混合而成),以解决CMP过程中抛光液易团聚的问题。结果表明,抛光...
[期刊论文] 作者：周丽川, 赵之琳, 杨昌权,
来源：中学课程资源 年份：2023
教育兴则国家兴，教育强则国家强，在教育教学过程中应贯穿思想政治工作。物理学作为一门自然科学，是人类科学文化的重要组成部分。因此，探究课程思政在初中物理教学中实施的有效策略，能够提高学生的核心素养，使学生形成“三全育人”格局。教师应以初中物理学科为载体，将......
[期刊论文] 作者：赵之琳,李薇薇,钱佳,孙运乾,
来源：电镀与涂饰 年份：2021
采用不同粒径的纳米二氧化硅磨料对蓝宝石晶圆进行化学机械抛光(CMP)。结合实验与量子化学参数的仿真计算,研究了磨料粒径对抛光后蓝宝石晶圆表面性能的影响及其材料去除机制...
[期刊论文] 作者：孙运乾,李薇薇,赵之琳,钱佳,
来源：表面技术 年份：2021
目的 制造新型高硬度硅溶胶,满足硅晶圆化学机械抛光(CMP)既要高抛光速率,又要高抛光质量的要求.方法 利用恒液面聚合生长法制备硅溶胶的工艺特点,通过在合成过程中加入pH值稳定剂异丙醇胺,提升硅溶胶的硬度和稳定性.采用透射扫描电子显微镜、红外光谱等对硅溶......
[期刊论文] 作者：孙运乾,钟荣峰,李薇薇,赵之琳,钱佳,
来源：电镀与涂饰 年份：2021
针对蓝宝石晶圆化学机械抛光(CMP)高去除速率和高抛光质量的要求,对比了分别采用单一粒径、连续粒径和混合粒径的SiO2磨料对蓝宝石晶圆的抛光效果.结果表明,将粒径为120 nm的40％(质量分数)硅溶胶与粒径为30 nm的20％(质量分数)硅溶胶按体积比8:2混合作为磨料对蓝宝......
[期刊论文] 作者：卓思轶,杨炼硕,赵之琳,田博雅,王小兰,
来源：发明与创新:职业教育 年份：2020
物理概念教学是中学物理教学关键,也是物理教学大厦的基石。本文对物理概念教学的现状进行了剖析,并结合案例"流体压强与流速的关系"在基于自制创新教具的基础上对提升中学物...
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