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[期刊论文] 作者：赵甘鸣,鲍敏杭,
来源：半导体学报 年份：1989
本文报道了计算择优生长的多晶硅压阻灵敏度的统计平均理论,由此得到了〈100〉、〈110〉〈111〉、〈211〉、〈311〉、〈331〉等低指数晶向择优生长的p型和n型多晶硅的平均晶...
[期刊论文] 作者：赵甘鸣,鲍敏杭,
来源：传感技术学报 年份：1989
本文用统计方法对择优生长的多晶硅横向压阻进行了分析:计算了【100】、【110】、【111】、【211】、【221】、【311】、【331】等低指数晶向择优生长的P型和N型多晶硅横向平...
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