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[期刊论文] 作者：严冬,李国光,刘涛,熊伟,李成敏,郭青杨,叶甜春,,
来源：微电子学 年份：2013
研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅...
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