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[期刊论文] 作者：黄天斌,刘敬明,唐伟忠,钟国仿,蒋政,吕反修,
来源：北京科技大学学报 年份：2000
研究了大面积金刚石膜沉积过程中的均匀性问题和金刚石膜质量的均匀性问题．研究表明：用于生长金刚石膜的大面积磁旋转等离子体电弧是均匀的，能使气体混合均匀：金刚石膜在形核阶段......
[期刊论文] 作者：黄天斌,刘敬明,钟国仿,唐伟忠,佟玉梅,吕反修,
来源：北京科技大学学报 年份：2000
讨论了在采用直流电弧等离子体喷射CVD工艺沉积大面积无衬底自支撑金刚石厚膜时遇到的若干技术问题．在制备过程中经常出现的膜炸裂现象，主要是由于膜和衬底材料线膨胀系数差异......
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