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[期刊论文] 作者：钱关名,
来源：计量与测试技术 年份：2002
光切显微镜以光切原理为基础，能解决工件表面微小峰谷深度的测量问题，测量表面粗糙度的专用仪器之一，光切显微镜一般测量RZ值大于0.8μm的工件，本文主要解决在使用光切显微镜时，首......
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