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[期刊论文] 作者：门海泉,周灵平,肖汉宁,,
来源：人工晶体学报 年份：2005
不同择优取向的AlN薄膜具有不同的物理化学性质和应用,其择优取向生长机理主要包括热力学的'能量最小化'理论和动力学的'选择进化'理论.在众多的制备方法中,...
[期刊论文] 作者：刘新胜,周灵平,门海泉,李德意,李绍禄,,
来源：矿冶工程 年份：2007
采用直流反应磁控溅射法在不同衬底温度(20~490℃)下沉积了A lN薄膜,用XRD分析了薄膜的择优取向,用高分辨场发射扫描电镜来表征了薄膜的表面型貌。实验结果表明,当衬底处在20...
[期刊论文] 作者：门海泉,周灵平,刘新胜,李德意,李绍禄,肖汉宁,,
来源：人工晶体学报 年份：2006
采用直流双靶磁控溅射聚焦共沉积技术在Fe衬底上高速率生长A lN薄膜,结果表明,双靶共沉积技术有效地提高了A lN薄膜生长速率,相同工作气压或低N2浓度时双靶磁控溅射沉积速率...
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