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[期刊论文] 作者：彭进,蔡木本,郑宜钧,初桂珍,阚文良,
来源：微电子学 年份：1992
铝栅自对准电路具有集成度高和性能价格比高等优点。本文从离子注入与合金(退火)两方面着手,研究铝栅自对准工艺。成功地研制出可与国外样品互换的铝栅自对准电路。Aluminu...
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