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[期刊论文] 作者：阮丽浓,,
来源：实验技术与管理 年份：1987
5DX傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)中的激光系统,是整个仪器的关键部件之一。在FTIR光谱仪中,用迈克尔逊干涉仪实现调频分光。干涉仪的中心部分是动镜及其伺服控制系统。使用He...
[期刊论文] 作者：吴昌敏,阮丽浓,
来源：光学技术 年份：1985
在半导体工艺中各种外延生长的薄膜,以及各种氧化薄膜(如SiO_2),氢化薄膜(如SiH)等厚度的测量,目前一般用金相显微镜法,但是测量前样品必需经过化学腐蚀,是一种有损测量法。...
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