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[学位论文] 作者：陆梅君,,
来源：苏州大学 年份：2003
由于传统的硅的生产技术已经很成熟，所以在光电集成中，依然采用晶体硅作为基底，继续沿用高度发展的硅集成工艺。如果能够使硅基材料在可见光范围内具有良好的发光特性，那么这种重......
[学位论文] 作者：陆梅君,,
来源：中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） 年份：2006
光学邻近效应修正(Optical Proximity Correction，OPC)已成为半导体制造不可缺少的技术，同时发展为电子设计自动化(Electronic Design Automation，EDA)框架中的重要组成部分。OP...
[期刊论文] 作者：陆梅君,金晓亮,毛智彪,梁强,,
来源：半导体技术 年份：2006
提出了一种新型的与制程窗口紧密相关，被称为偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应模型，该模型包含制程参数变化的信息。该模型引导得到的修正的图形在工艺参数变化时也会表现......
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